厚度测量

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用于薄液膜厚度测量的面阵列电导传感器的设计与验证
《传感技术学报》2024年第10期1667-1673,共7页魏欢 胡珀 
液膜厚度是研究降液膜展开及发展演化所需的重要参数,目前市面上主流的膜厚探头主要是基于点探测原理、无法满足液膜展开的面厚度测量需求,本研究基于降液膜厚度的范围,自主设计了基于柔性印刷电路板的电导法同轴圆环面阵列传感器。成...
关键词:物理量传感器 液膜厚度测量 电导法 探点阵列 柔性印刷电路板 
边缘电场传感器测量金属衬底绝缘层厚度被引量:1
《传感技术学报》2018年第11期1657-1661,共5页赵俊明 王文廉 
传感激光准δ脉冲动态校准系统研究项目基金(KF201806)
针对金属衬底上的绝缘层厚度测量的需求,研究了一种基于边缘电场传感器测量方法。位于同一平面的传感电极形成边缘场电容,边缘电场穿透绝缘层后在衬底表面发生突变。用三电容模型分析了传感器的测量原理,衬底作为一个浮动电极分别与两...
关键词:厚度测量 边缘场电容 有限元 单一平面电容 
电磁超声检测钢板厚度实验的参数优化被引量:21
《传感技术学报》2015年第4期498-502,共5页江念 王召巴 陈友兴 陈玉 
国家自然科学基金项目(61201412)
为提高电磁超声检测信号的信噪比,研究激励信号频率、脉宽及换能器提离距离对厚度测量结果的影响,搭建了电磁超声实验系统。该系统利用RITEC-SNAP 5000产生高能正弦波激励电磁超声换能器EMAT(Electromagnetic Acoustic Transducer),通...
关键词:电磁超声 无损检测 厚度测量 激励频率 提离距离 
基于电容传感器的塑膜厚度检测系统的研究(英文)被引量:10
《传感技术学报》2005年第1期116-119,共4页马玉真 王新华 段发阶 郑义忠 叶声华 
采用非接触式电容传感器、电涡流传感器组合系统获取检测信号 ,利用基于LabVIEW软件平台的计算机实现对塑料薄膜进行在线检测的工作原理 ,整个系统由测试单元、电机驱动单元、数据采集与处理单元组成。由于测试单元采用了电容、电涡流...
关键词:塑料薄膜 厚度测量 组合传感系统 在线测量 
一种测量透明薄膜厚度的新方法被引量:1
《传感技术学报》2003年第1期6-8,共3页王玉田 赵世强 王遂 隋红丽 
介绍了一种分析获取干涉图的新方法 ,可使得计算机处理简单 。
关键词:厚度测量 薄膜 干涉测量 电荷耦合器件 
石英晶体薄膜厚度差动测量技术的研究被引量:1
《传感技术学报》1998年第3期49-52,共4页郑德忠 王晓维 史锦珊 翟姝红 
本文介绍一种石英晶体膜测厚的差动工作方式。它的厚度测量精度为1nm,分辨率为纳米级,其温度稳定性在0-+400℃范围内达到50Hz。这种差动测量技术不仅可在真空镀膜工艺中实现在线测量,而且在纳米技术及超精细加工中具有...
关键词:石英晶体 薄膜 厚度测量 
塑料膜厚度检测系统
《传感技术学报》1996年第4期54-58,共5页郑德忠 樊宏升 王振臣 
介绍一种非接触式、数字化塑料膜在线检测系统.这种系统采用硬软件双重滤波的设计和比值测量方法,较好地抑制了干扰信号对测量精度的影响,实现快速准确测量.配以相应接口,本系统可方便地配接在生产线控制闭环中.
关键词:电容传感器 非接触 厚度测量 灵敏度 塑料膜 
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