发夹型

作品数:58被引量:114H指数:6
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硅基MEMS高性能发夹型交叉耦合滤波器被引量:2
《半导体技术》2021年第10期774-778,共5页刘恩达 贺萌 赵永志 李光福 赵宇 吴洪江 
基于微电子机械系统(MEMS)体硅加工工艺,采用发夹型谐振结构,研制了一款新型带通滤波器。通过在滤波器馈电抽头上加入一段二次谐波频率处对应的1/4波长开路枝节,抑制了二次谐波;同时,在该滤波器非相邻谐振单元间引入一段中心频率处对应...
关键词:硅基微电子机械系统(MEMS) 滤波器 谐波抑制 交叉耦合 传输零点 
小型化三维发夹型LTCC宽带带通滤波器被引量:2
《半导体技术》2011年第9期661-663,共3页赵永志 王绍东 吴洪江 
国家重点基础研究发展计划(973计划)资助项目(2009CB320207)
利用低温共烧陶瓷(LTCC)工艺,通过通孔互联实现了三维结构的发夹型宽带带通滤波器。该结构将谐振单元的横向尺寸转移到z轴方向实现,有效减小了滤波器的尺寸并且谐振器间的耦合系数为传统结构的1.6倍。利用五个谐振器结构实现较宽的频带(...
关键词:低温共烧陶瓷(LTCC) 三维发夹型谐振器 耦合 宽带带通滤波器 系统级封装 
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