云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 反应气体

反应气体: 作品数：106被引量：108H指数：5; 导出分析报告; 相关领域：理学更多>>; 相关作者：顾军民吴黎阳余海鹏史雪君刘周恩更多>>; 相关机构：丰田自动车株式会社东京毅力科创株式会社中微半导体设备(上海)有限公司中芯国际集成电路制造(上海)有限公司更多>>; 相关期刊：更多>>; 相关基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划国家科技支撑计划沈阳建筑大学省级重点实验室开放基金更多>>

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阀门及气相沉积设备: 《低温与特气》2022年第5期21-21,共1页; 申请(专利)号:CN202211093253.9公开(公告)日:2022-10-11申请(专权)人:拓荆科技(上海)有限公司摘要:本发明涉及一种阀门,以及一种气相沉积设备。所述阀门安装于反应腔体的上盖板的上表面,并包括进气口、第一出气口及第二出气口。所述进...; 关键词：气相沉积进气管道管道连接高精度控制反应气体排气通道快速切换阀门安装

反应性准分子激光混合气稳定性研究: 《低温与特气》2021年第5期19-21,45,共4页胡新明杨志轩蓝倪方程; 由于一种或多种杂质(或组分)容易与其他杂质或组分以及容器内壁表面、阀门和充装系统润湿表面发生反应,反应性气体混合物的保质期通常相对较短。对关键活性组分和特定活性杂质的定期测试,包括预期会增加或作为反应产物出现的杂质。测试...; 关键词：反应气体实时稳定性测试标准偏差检出下限

一种制备ppbv级水分杂质的电子级氯化氢气体的方法: 《低温与特气》2020年第4期25-25,共1页; 申请(专利)号:201811415776.4公开(公告)日:2020-04-10申请(专利权)人:浙江博瑞电子科技有限公司摘要:本发明涉及高纯气体制备领域,具体关于一种制备ppbv级水分杂质的电子级氯化氢气体的方法;本发明方法公开的一种制备ppbv级水分杂质的...; 关键词：氯化氢气体反应气体高纯气体二氧化硅电子科技硼酸杂质

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