分子束外延法

作品数：52被引量：42H指数：3
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相关机构：中国科学院上海交通大学浙江大学东北师范大学更多>>
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VO_2薄膜常见制备方法综述被引量：1
《红外技术》2016年第12期1020-1025,共6页侯典心 路远 杨玚 
脉冲功率激光技术国家重点实验室主任基金资助项目(SKL2013ZR03)
VO_2是一种相变温度为68℃接近室温的热致相变材料,具有十分广泛的潜在应用价值,自从被发现以来针对它的研究就从未停止。如何使用恰当的制备方法简单、快速的制备性能良好的VO_2薄膜一直是研究的热点之一。目前,VO_2薄膜常见的制备方...
关键词：相变材料 VO2制备方法 脉冲激光沉积工艺 分子束外延法 磁控溅射法 
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