干涉图

作品数：508被引量：1299H指数：16
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大梯度相位单幅干涉图的解相方法被引量：4
《中国激光》2019年第5期356-364,共9页叶明哲 王劭溥 胡摇 郝群 
国家自然科学基金(51735002,61705008)
针对加工中的大梯度相位在线检测需求,提出一种基于数字叠栅移相方法和牛顿迭代算法的单幅干涉图解相方法。在不同待测相位下,将所提方法的结果与其他3种典型的单幅干涉图解相方法进行仿真对比,结果表明,所提方法的解相精度较高。对离...
关键词：测量 干涉测量 解相方法 单幅干涉图 解相精度 
主元分析相位提取算法的符号确定及误差分析被引量：3
《中国激光》2016年第1期170-176,共7页陈曌 候园园 徐建程 
国家自然科学基金(61205163;61205012;61377014)
基于主元分析的随机相移算法在动态干涉测量中有重要的应用。目前现有文献尚不能解决该算法存在的相位符号不确定性以及无法评估提取相位结果的可靠性。为了解决该问题,利用主元分析方法从随机相移干涉条纹中同时取相位分布和相移值,然...
关键词：测量 随机相移算法 主元分析 干涉图 
基于离轴显微干涉术的单幅干涉图相位求解(英文)被引量：1
《中国激光》2015年第9期276-283,共8页曾雅楠 雷海 常新宇 胡晓东 胡小唐 
国家自然科学基金(61223008,51375340,51075297)
提出一种用于测量微结构表面形貌的离轴显微干涉术。该技术的实验装置为一个优化的马赫-曾德尔干涉仪。其特点为参考波是具有一定载频的倾斜波。该技术中应用CCD记录离轴显微干涉图,并用傅里叶变换方法对记录的干涉图在傅里叶面进行频...
关键词：测量 表面形貌 离轴 载频 显微干涉 
二维虚光栅移相莫尔条纹相位提取算法被引量：8
《中国激光》2015年第2期245-252,共8页陈晨 刘克 李艳秋 汪海 
国家自然科学基金重点项目(60938003);国家科技重大专项;国家自然科学基金青年科学基金(61205164);北京高等学校青年英才计划;北京理工大学基础研究基金(20120442004)
目前二维干涉图所采用的相位提取算法大多以傅里叶变换法为主,而傅里叶变换法对噪声比较敏感。虚光栅移相莫尔条纹法具有较高的提取精度,而且抗噪性较好。在一维干涉图的基础上,提出了一种适用于二维干涉图相位提取的二维虚光栅移相莫...
关键词：测量 相位提取 莫尔条纹 二维干涉图 
二维快速傅里叶变换干涉图相位提取误差分析被引量：19
《中国激光》2013年第3期179-184,共6页张敏 唐锋 王向朝 戴凤钊 
国家自然科学基金重点项目(60938003;61205102和61275207)资助课题
基于ZYGO干涉仪实测干涉图,利用二维快速傅里叶变换(FFT)法进行相位提取,并与相移干涉相位测量结果进行比对,对影响FFT法相位提取精度的边缘误差、窗函数、滤波器设计、干涉图延拓以及载波条纹数等因素进行了综合分析。结果表明直接二维...
关键词：测量 干涉图 相位提取 二维快速傅里叶变换 边缘误差 干涉图延拓 
全反射棱镜式环形激光器合光输出及陀螺精度特性分析被引量：17
《中国激光》2013年第1期30-35,共6页刘健宁 蒋军彪 石顺祥 钟聪 
国际科技合作专项(2012DFR70370)资助课题
在全反射棱镜式激光陀螺中,环形激光器的合光输出特性直接影响激光陀螺的工作精度。利用激光器的模式理论,研究了在不同转速下,合光棱镜处的顺、逆时针光束干涉光场分布,分析了因光阑和合光棱镜加工、装配不当等因素造成的y方向合光角过...
关键词：相干光学 环形激光器 合光棱镜 干涉图 
测量薄膜厚度的数字叠栅技术被引量：3
《中国激光》2012年第11期99-103,共5页苏俊宏 刘奕辰 
科技部国际科技合作(2010DFR70530)资助课题
现代干涉测试的核心是用合理的算法处理干涉图而获得所需的面形及参数。由于常见的相移法要通过移相器有规律地移动采集多幅干涉图并数字化后求取波面的相位分布,这样必然引入由于移相器的线性及非线性误差所带来的计算误差,因此需要事...
关键词：薄膜 厚度 干涉图 移相干涉法 叠栅技术 
利用空域滤波虚光栅叠栅法提取干涉图波面被引量：4
《中国激光》2012年第5期212-216,共5页王军 陈磊 吴泉英 
浙江省部共建国家重点实验室培育基地开放课题;江苏省"六大人才高峰"项目(06-E-030);苏州科技学院科研基金项目资助课题
虚光栅叠栅条纹法是一种利用单幅干涉图提取波面信息的方法,为了解决叠栅条纹的滤波问题,提出了一种基于高斯函数的空域滤波法。利用高斯函数在空域中对叠栅条纹图进行模糊处理,滤除不需要的高频分量,仅保留包含波面相位信息的低频分量...
关键词：测量 干涉测量 虚光栅叠栅条纹法 波面 空间滤波 
高精度单幅闭合条纹干涉图相位重构技术被引量：8
《中国激光》2010年第2期531-536,共6页刘东 杨甬英 田超 骆永洁 卓永模 
国家重大科技专项经费;浙江大学现代光学仪器国家重点实验室重点课题(MOIJ08001)资助项目
在干涉检测中,常用各种调制手段将被测信息加载到干涉图中,通过对检测得到的条纹图样进行分析,便可以得到被测信息。如果实验条件不允许施加任何调制手段,探测器检测得到的将很有可能是具有闭合条纹的单幅干涉图。正则化相位跟随(RPT)...
关键词：测量 干涉图 闭合条纹 相位重构 黄金分割 
电光分幅式激光全息术被引量：2
《中国激光》1996年第9期843-846,共4页任国权 叶志生 王升平 高慧敏 
提出了一个记录多幅激光全息图的“电光分幅式曝光法”．它可按预置时序连拍多幅全息图或全息干涉图．具有帧频高、画幅多、光程稳定和计时准确等优点．
关键词：激光全息图 电光分幅 全息干涉图 
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