旋转法

作品数：527被引量：809H指数：11
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工件旋转法磨削硅片的亚表面损伤深度预测被引量：6
《光学精密工程》2022年第17期2077-2087,共11页高尚 李天润 郎鸿业 杨鑫 康仁科 
国家自然科学基金重大项目(No.51991372);国家自然科学基金面上项目(No.51975091);国家自然科学基金重点项目(No.51735004);国家重点研发计划项目(No.2018YFB1201804-1)。
工件旋转法磨削是大尺寸硅片正面平整化加工和背面减薄加工的主要方法,但磨削加工不可避免地会在硅片表面/亚表面产生损伤。为了预测工件旋转法磨削硅片产生的亚表面损伤深度,优化硅片磨削工艺,根据工件旋转法磨削过程中硅片磨削表面的...
关键词：磨削 单晶硅片 表面粗糙度 亚表面损伤深度 
应用旋转法实现大口径非球面反射镜零重力面形加工被引量：6
《光学精密工程》2019年第12期2517-2524,共8页孟晓辉 王永刚 李文卿 陈建丞 周于鸣 张继友 
国防十三五技术基础科研计划资助项目（No.JSZL2017203B009）
为了在地面制造环境下实现大口径空间非球面反射镜的零重力面形加工,建立了基于重力卸载的高精度旋转检测工艺方法。首先对N次等间隔旋转法的基本原理进行了介绍,并结合一块Ф1290 mm ULE材料的非球面反射镜加工实例,分别给出了旋转法...
关键词：光学加工 光学检测 空间光学遥感器 非球面反射镜 零重力面形 
单晶硅反射镜的超精密磨削工艺被引量：13
《光学精密工程》2019年第5期1087-1095,共9页王紫光 康仁科 周平 高尚 董志刚 
国家自然科学基金重大研究计划集成项目(No.91323302);国家自然科学基金资助项目(No.51875078);国家自然科学基金青年基金项目(No.51505063);国家科技重大专项(02专项)(No.2014ZX02504001)
为了实现单晶硅反射镜高效低损伤的超精密加工,研究了基于工件旋转法磨削原理的单晶硅反射镜超精密磨削工艺。通过形貌检测和成份测试的方法分析了该工艺采用的超细粒度金刚石砂轮的组织结构特征,并对单晶硅进行了超精密磨削试验,研究...
关键词：单晶硅反射镜 工件旋转法磨削 表面/亚表面损伤 面形控制 超细粒度金刚石砂轮 
应用高精度旋转法的干涉仪检测误差校正被引量：4
《光学精密工程》2015年第5期1297-1303,共7页韩冬松 何昕 魏仲慧 李一芒 
国家自然科学基金资助项目(No.60902067);吉林省重大科技攻关项目(No.112DGG001)
针对利用高精度菲索型干涉仪和旋转平均法对光学元件进行面形绝对检测时对旋转精度的要求,提出了一种旋转误差校正模型来修正面形绝对检测中的旋转非对称项误差。首先基于经典N步旋转平均法理论,通过泽尼克多项式给出面形误差的数学表...
关键词：菲索干涉仪 旋转平均法 旋转非对称项面形误差 面形绝对检测 泽尼克多项式 
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