Δ掺杂

作品数：64被引量：43H指数：3
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δ掺杂技术及其应用
《半导体技术》1993年第5期56-60,共5页宋登元 
给出了δ掺杂的半导体定义,论述了这种掺杂的特点、方法、材料的能带结构及影响δ掺杂分布宽度的因素,同时介绍了在此技术基础上改进或发展地一些新颖半导体器件.
关键词：Δ掺杂 半导体器件 制造 
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