Λ/4相移

作品数：11被引量：19H指数：3
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用于1.55μm InGaAsP/InP DFB激光器的λ/4相移衍射光栅
《Journal of Semiconductors》1991年第5期309-312,T001,共5页缪育博 张静媛 王圩 
采用全息二次曝光的方法,研制出用于 1.55μm InGaAsP/InP DFB激光器的,具有 λ/4相移的二级光栅,并通过扫描电镜(SEM)证明了相移的存在.本文分析了制备该种光栅的工艺原理,并提出了改善此种光栅质量的新方法.
关键词：DFB激光器 INGAASP/INP 衍射光栅 
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