薄型

作品数：1374被引量：1441H指数：14
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薄型压电超声马达定子中旋转波形成机理初探被引量：2
《压电与声光》1997年第2期90-94,共5页张健 沈德新 王渭源 
国家攀登计划B"微电子机械系统"资助项目
详细分析了马达定子中旋转波(行波)的形成机理及其主要特征(包括动能、势能和角动量等),论述了定子-转子交界面粒子椭圆振动的形成,表明压电马达定子中的波不同于传统的驻波和行波,而是被人称之为第三种波——旋转波。同时,也预示了压...
关键词：压电效应 二重简并模式 旋转波 压电超声马达 
一种新结构薄型压电行波小马达被引量：2
《功能材料与器件学报》1996年第3期137-142,共6页沈德新 张健 张保安 卢建国 杨根庆 王渭源 
国家攀登计划B"微电子机械系统"项目
本文设计和研制了一种新结构薄型压电行波小马达。小马达由圆形压电薄片或圆环形压电薄片和兼作公共电极的金属弹性体联成一体作马达的定子，薄型转子坐落在公共电极金属弹性体上，从而使压电马达的构造简单，也简化了制作工艺。研制成...
关键词：压电马达 行波 薄型 弹性体 振动 微电机 
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