氮分压

作品数：56被引量：131H指数：6
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氮分压对钕铁硼表面直流磁控溅射沉积AlN/Al防护涂层结构和性能的影响被引量：10
《中国表面工程》2010年第3期80-83,共4页李金龙 冒守栋 孙科沸 宋振纶 
中国博士后基金(20090450737);浙江省自然科学基金(Y4090178)
采用直流磁控溅射在钕铁硼表面沉积AlN/Al双层防护薄膜来提高磁体的耐腐蚀性能。先在基体表面沉积纯Al薄膜,然后沉积外层AlN薄膜。沉积AlN薄膜时,改变氮气分压,研究氮分压对薄膜结构和耐腐蚀性能的影响。结果显示,AlN纳米颗粒形成于内...
关键词：NDFEB AlN/Al膜 结构 腐蚀性能 
反应磁控溅射法制备(Ti,Al)N薄膜的力学性能被引量：5
《中国表面工程》2010年第1期34-38,共5页周滔 聂璞林 李铸国 黄坚 蔡珣 
采用镶嵌靶反应磁控溅射技术,通过调节氮分压及基体偏压在M2高速钢基体表面制备了一系列耐热的(Ti,Al)N硬质薄膜,并用XRD,EDS及纳米压入法、划痕法等方法研究了(Ti,Al)N薄膜的成分、相结构与力学性能的关系。结果表明,氮分压和基体偏压...
关键词：(Ti Al)N薄膜 磁控溅射 氮分压 基体偏压 力学性能 
偏压和氮分压对TiN膜层结构和膜/基体系性能的影响被引量：9
《中国表面工程》2009年第2期20-25,共6页杨洪刚 李曙 张荣禄 
国家自然科学基金资助项目(50475159)
采用多弧离子镀工艺在钛合金或低碳钢基材上制备TiN薄膜,研究了不同偏压及不同氮分压下制备的薄膜相结构、残余应力、膜/基体系硬度、膜/基结合及其摩擦磨损行为。结果表明:偏压影响TiN晶粒的择优取向,偏压绝对值越大则薄膜内部的残余...
关键词：微纳米材料 摩擦磨损 润滑 自修复 
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