氮分压

作品数：56被引量：131H指数：6
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氮分压对ZrN薄膜结构及颜色的影响
《真空》2021年第1期57-62,共6页吴键坤 李兆国 彭丽萍 易勇 张继成 
国家自然科学基金(编号:11604310);国家自然科学基金(编号:21875061);环境友好能源材料国家重点实验室自主课题资助(编号:237/19fksy08,1)。
采用直流反应磁控溅射法,通过改变反应气体N2分压(5%、10%、20%、30%、40%、50%、60%),在SiO2/Si(111)基片上制备ZrN薄膜。利用XRD、SEM、EDS分析了薄膜的物相、结构、形貌以及成分,使用分光光度计测量了薄膜的反射光谱,并进一步确定了...
关键词：氮化锆薄膜 磁控溅射 成分与结构 色度 
氮分压对多弧离子镀TiN涂层相结构及性能影响的研究被引量：7
《真空》1990年第3期1-5,共5页李晓青 
本文利用多弧离子镀设备沉积了 ＴｉＮ薄膜，对不同工艺条件下沉积ＴｉＮ的薄膜用 Ｘ射线衍射方法进行了研究，给出了薄膜相结构随氮分压变化的实验结果，测定了薄膜 的显微硬度．用ＳＥＭ方法观察了 ＴｉＮ涂层的组织形貌。指出：氮分...
关键词：氮分压 多弧离子镀 涂层 相结构 
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