MWPCVD

作品数：20被引量：40H指数：3
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相关领域：理学一般工业技术更多>>
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相关机构：中国科学院等离子体物理研究所湘潭大学大连理工大学合肥工业大学更多>>
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微波等离子体增强化学气相沉积方法制备碳氮纳米管及其结构表征被引量：4
《中国科学（E辑）》2000年第2期117-121,共5页马旭村 徐贵昌 王恩哥 
中国科学院和国家重点基础研究专项经费资助
利用微波等离子体增强化学气相沉积方法 ,在多孔二氧化硅基底上制备了大面积取向一致的碳氮纳米管薄膜 .采用扫描电子显微镜、透射电子显微镜和能量散射X射线能谱仪分别进行了纳米管的形貌、结构和成分的研究 .结果表明这种纳米管的直...
关键词：碳氮纳米管 微波等离子体 结构 MWPCVD 
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