压电厚膜

作品数：25被引量：51H指数：4
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相关领域：一般工业技术电子电信电气工程更多>>
相关作者：王大志张海波姜胜林曾亦可任巍更多>>
相关机构：大连理工大学华中科技大学西安交通大学山东轻工业学院更多>>
相关期刊：《微纳电子技术》《机电工程技术》《材料导报》《光学精密工程》更多>>
相关基金：国家自然科学基金济南市科技发展计划项目国家高技术研究发展计划教育部“新世纪优秀人才支持计划”更多>>
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高性能PZT压电厚膜及MEMS微驱动器技术研究
《黑龙江大学工程学报》2011年第3期76-84,共9页曹茂盛 路冉 赵全亮 刘红梅 邱成军 袁杰 
国家自然科学基金面上项目(50742007;50872159);863项目(2007AA03Z103);声纳与水声技术国防科技重点实验室基金项目(914C24KF0901)
运用混合溶胶-凝胶法制备了具有钛酸铅(PT)种子层的PZT基压电复合厚膜,包括(100)取向PZT压电厚膜,PZT纳米颗粒增强PZT压电复合厚膜((0-3)PZT)和氧化锌晶须增强PZT复合厚膜(ZnOw-PZT)。通过结构表征,研究了工艺条件和膜厚对PZT基厚膜的...
关键词：PZT 厚膜 溶胶-凝胶法 MEMS 
钛酸铋钠钾无铅压电厚膜的制备及表征被引量：2
《压电与声光》2009年第4期553-555,共3页张海波 姜胜林 曾亦可 张洋洋 
国家"八六三"计划基金资助项目(2007AA03Z120);国家自然基金资助项目(60777043);教育部新世纪优秀人才支持计划基金资助项目(NCET-04-0703)
采用传统固相法制备(Na0.82K0.18)0.5Bi0.5TiO3无铅压电陶瓷粉体,将质量分数5%的乙基纤维素溶入到质量分数为92%的松油醇中配制粘合剂溶液,加入质量分数2%的二乙二醇丁醚醋酸酯作分散剂,质量分数1%的邻苯二甲酸二丁酯作增塑剂,将陶瓷粉...
关键词：钛酸铋钠钾 压电厚膜 丝网印刷 电滞回线 纵向压电系数 
压电厚膜的研究现状及趋势被引量：3
《材料导报》2009年第9期35-38,共4页熊龙宇 姜胜林 曾亦可 张海波 王青萍 
国家高技术863计划(2007AA03Z120);国家自然基金(60777043)
随着电子元器件向小型、高灵敏、集成、多功能化方向发展,薄/厚膜材料及器件逐渐成为研究的重点。由于压电厚膜(10～100μm)兼具有压电陶瓷与压电薄膜的优点,是各种微型传感器和执行器的核心部分,已引起世界各国研究者极大的兴趣,但是...
关键词：压电厚膜 压电测试 压电器件 
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