压电厚膜

作品数：25被引量：51H指数：4
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相关领域：一般工业技术电子电信电气工程更多>>
相关作者：王大志张海波姜胜林曾亦可任巍更多>>
相关机构：大连理工大学华中科技大学西安交通大学山东轻工业学院更多>>
相关期刊：《微纳电子技术》《机电工程技术》《材料导报》《中国科学技术大学学报》更多>>
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MEMS兼容PZT压电厚膜的性能测试被引量：1
《光学精密工程》2004年第z1期72-75,共4页王蔚 刘晓为 兰慕杰 霍明学 
哈尔滨工业大学跨学科交叉性研究基金资助项目(HIT.MD2001.01)
丝网印刷法制备PZT厚膜工艺与MEMS技术兼容.通过调整PZT印刷浆料粘度,并采取多次套印、多次退火及合理的烧结工艺,在硅膜片上获得了较致密的PZT厚膜.采用悬臂梁方法对制备的Ag/PZT/SiO2/n+Si结构复合压电厚膜进行了直接测试,结果表明PZ...
关键词：PZT 压电厚膜 丝网印刷 MEMS 
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