压电厚膜

作品数：25被引量：51H指数：4
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相关领域：一般工业技术电子电信电气工程更多>>
相关作者：王大志张海波姜胜林曾亦可任巍更多>>
相关机构：大连理工大学华中科技大学西安交通大学山东轻工业学院更多>>
相关期刊：《微纳电子技术》《机电工程技术》《材料导报》《光学精密工程》更多>>
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微型压电厚膜执行器的仿真与实验研究被引量：2
《机电工程技术》2022年第1期9-11,57,共4页袁钰恒 赵奎鹏 宗浩然 王大志 
采用ANSYS有限元软件建立了微型压电厚膜执行器的多物理场耦合仿真模型,求解了微型压电厚膜执行器B(0,3)模态的共振频率为80673 Hz,在15 V交流电压下的振幅为210 nm。同时通过磁控溅射、电流体喷射打印工艺,制备了外径为4.5 mm的环形PZ...
关键词：压电执行器 PZT厚膜 ANSYS仿真 电流体喷射打印 
曲面压电厚膜电流体喷印制备研究
《机电工程技术》2020年第9期45-46,200,共3页姜重阳 赵奎鹏 王柱 袁钰恒 宗浩然 王大志 
压电厚膜作为功能部件被广泛应用在传感、执行器件中,主要为平面膜结构。但在医学中的聚焦超声换能器、海洋中的水听器等,需要应用曲面压电陶瓷厚膜以实现能量聚焦、信号放大。基于电流体喷印技术研究曲面压电厚膜的制备工艺,设计搭建...
关键词：电流体 喷印 PZT厚膜 压电 
不锈钢基压电厚膜微悬臂梁传感器的制作与测试被引量：2
《机电工程技术》2019年第7期32-34,共3页周鹏 王大志 石鹏 赵奎鹏 姜重阳 王柱 
国家自然科学基金资助项目(编号:51475081);精密测试及仪器国家重点实验室开放基金资助项目(pilab1804);中央高校基本科研业务费资助项目(DUT18LAB17)
制备了不锈钢基底压电厚膜微悬臂梁传感器。利用精密激光加工技术制备了厚度为100μm的不锈钢微悬臂梁基底,由于不锈钢具有良好的导电性,可以作微悬臂梁传感器的下电极,采用模板辅助电雾化沉积技术在不锈钢微悬臂梁基底上制备了厚度为20...
关键词：微悬臂梁传感器 PZT厚膜 电雾化沉积 模板辅助 不锈钢 
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