压电微马达

作品数：15被引量：35H指数：3
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压电微马达研究进展被引量：5
《压电与声光》2002年第2期116-121,共6页阎立 褚祥诚 董蜀湘 李龙土 
利用网络和图书馆对国际上 1996年至今的压电微马达研究进展进行了调研。分别介绍了压电薄膜、陶瓷的行波、驻波类微马达的最新研究情况 ,同时也对一种具有与压电微马达特性相同的静电超声微马达的研究作了说明 。
关键词：压电微马达 压电薄膜 静电超声微马达 
φ1.8mm棒状压电陶瓷微马达的研究被引量：21
《压电与声光》2001年第2期103-105,共3页褚祥诚 阎立 董蜀湘 李龙土 
提出一种低成本、结构简单 ,直径为 1.8mm的摆头式棒状压电微马达。阐述了压电微马达的驱动机理、部分制作工艺及工作特性。该压电微马达的换能激振部分采用外形尺寸 1.8mm× 8mm的压电陶瓷圆棒 ,马达整体装配外形尺寸 1.8mm× 12 m...
关键词：压电微马达 微驱动器 压电陶瓷 
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