云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 压力微传感器

压力微传感器: 作品数：13被引量：30H指数：4; 导出分析报告; 相关领域：自动化与计算机技术航空宇航科学技术更多>>; 相关作者：周浩敏邢维巍李明明樊尚春李海娟更多>>; 相关机构：北京航空航天大学厦门大学浙江科技学院上海交通大学更多>>; 相关期刊：《北京航空航天大学学报》《传感技术学报》《仪表技术》《微细加工技术》更多>>; 相关基金：中国航空科学基金上海市科学技术发展基金国家高技术研究发展计划北京市自然科学基金更多>>

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差分谐振式压力微传感器灵敏度匹配特性（英文）: 《强激光与粒子束》2016年第6期159-164,共6页邢永豪谢波陈健陈德勇王军波; supported by National Natural Science Foundation of China(61431019,61372054);National Basic Research Program of China(2014CB744600);Beijing Municipal Science and Technology Commission(D11110100160000); 谐振式压力微传感器因其高精度、高稳定性及准数字输出等特性而广泛应用于气压监测、航空航天等领域。相较于其他结构,差分谐振式具有灵敏度高、线性度好及温度漂移小等优势。然而,要获得差分谐振式压力微传感器的最优性能,仍需解决差...; 关键词：微机电系统谐振式压力传感器差分频率灵敏度匹配双谐振器有限元分析

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