压力微传感器

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一种新型的压力微传感器
《仪表技术》2001年第6期50-52,共3页李琦 周浩敏 
介绍一种新型的压力传感器 ,即静电激励电容拾振的硅谐振压力微传感器。该传感器在可靠性、测量精度、体积、重量等方面都有传统的传感器所不能比拟的优点。实验结果表明 ,其测量精度可以达到 0 .0 2 1%F .S。
关键词：硅谐振 压力传感器 结构 工作原理 性能 
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