PVTT

作品数：90被引量：241H指数：8
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半导体气体流量控制器原位校准装置研究
《液压与气动》2025年第1期90-94,共5页回博旭 徐志鹏 张高明 周彬 孙英恺 
浙江省自然科学基金(LQ24E060007);浙江省基本科研业务费资助项目(2022YW33);浙江省产学合作协同育人项目(2021-2022)。
半导体制造需使用多种气体用于沉积、光刻等工序,气体流量控制的精度直接影响加工质量。而流量控制器需要经常检测和校准以确保其工作性能。半导体设备和工艺的特殊性决定了流量控制器只能进行原位校准。为解决流量控制器的原位校准问题...
关键词：半导体 气体流量 原位校准 流量控制器 动态pVTt 流场预测 
pVTt法气体流量标准装置热量主动补偿方法被引量：2
《液压与气动》2023年第6期102-108,共7页胡文清 徐志鹏 张高明 郭婧 
浙江省自然科学基金(LY18E050009)。
pVTt因其精度高、结构简单、维护费用低等独特优势,已被许多国家用作主要气体流量标准。然而,由于进气和排气过程的稳定时间较长,其标定效率相对较低。为了缩短稳定时间,提出了一种具有主动热补偿的新型pVTt气体流量标准;介绍了新型pVT...
关键词：PVTT 温度场特征 数值模拟 主动补偿 
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