流量控制器

作品数：207被引量：222H指数：7
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半导体气体流量控制器原位校准装置研究
《液压与气动》2025年第1期90-94,共5页回博旭 徐志鹏 张高明 周彬 孙英恺 
浙江省自然科学基金(LQ24E060007);浙江省基本科研业务费资助项目(2022YW33);浙江省产学合作协同育人项目(2021-2022)。
半导体制造需使用多种气体用于沉积、光刻等工序,气体流量控制的精度直接影响加工质量。而流量控制器需要经常检测和校准以确保其工作性能。半导体设备和工艺的特殊性决定了流量控制器只能进行原位校准。为解决流量控制器的原位校准问题...
关键词：半导体 气体流量 原位校准 流量控制器 动态pVTt 流场预测 
一种冶金底吹气体流量便携比对装置及其在线应用方法
《中国计量》2025年第1期87-89,共3页赵非 何薇 吴龙升 
安徽省市场监督管理局科技计划项目:在线溯源底吹氩气流量测量设备及方法的创新与应用(2023MK001)。
为解决冶金现场精炼底吹控制柜的小流量测量的溯源要求,文章研制了一种冶金底吹气体流量便携式比对装置,并设计了其在线应用方法。装置包含两套量程分别为0~4 mL/min和0~400 mL/min的流量计,两路气路分别集成温度、压力、气体质量流量...
关键词：计量学 便携式比对装置 流量控制器 溯源 阀件 流量标准表 
关于HFC-203质量流量控制器校验工具的设计
《中文科技期刊数据库（引文版）工程技术》2024年第1期0030-0033,共4页岳民凯 刘洋 叶伦荣 毕钦思 王萌 
核能发电机组要安全可靠的运行,就必须对核电机组的内部和对外界排放的空气进行辐射监测,而想要辐射监测系统正常对取得的样品进行精确分析,就需要有稳定可靠的质量流量控制器,对系统所取样品的体积进行精确控制。但是经过机组运行长时...
关键词：质量流量控制器 专用工具 故障诊断 
相关中国专利
《香料香精化妆品》2023年第1期142-142,共1页钱刚 
专利名称:烟用香料的一体式分离调香装置及分离调香方法和应用专利申请号:202211405589.4公开号:CN115553485A申请日:2022.11.10公开日:2023.01.03申请人:云南中烟工业有限责任公司本发明属于分离技术领域,涉及一种烟用香料的一体式分...
关键词：流量控制器 调香 中国专利 化学分离 分离膜 烟用香料 有效避免 分离效率 
燃料电池发动机相关发明专利公告
《柴油机设计与制造》2022年第4期54-54,共1页
(注:以下专利内容由知识产权出版社提供)一种适用于燃料电池空压机的测试装置申请号:CN 202111600661.4公开(公告)号:CN 114400352A申请(专利权)人:武汉中极氢能产业创新中心有限公司发明人:谭明波,郝义国,林宏,何博摘要:本发明涉及一...
关键词：空气流量计 空压机 流量控制器 燃料电池 测试装置 发明专利 背压调节阀 过滤器 
一种应用于高粘度气体的科里奥利质量流量控制器的研究
《价值工程》2022年第32期166-168,共3页周杰 范佩佩 于苗 白永恒 
质量流量计分为直接测量和间接测量或推导式测量和补偿式测量,广泛应用于各种气体质量流量测试场合。科里奥利质量流量计(Coriolis Mass Flow-CMF)采用直接测量的方法,其原理是流体在旋转体系中做直线运动时产生的科里奥力和流体的质量...
关键词：科里奥利 质量流量 质量流量计 测量 
两组份动态配气系统的稀释误差简化计算方法研究被引量：1
《工业计量》2022年第5期5-8,共4页吴保华 
文章介绍了氯气检测报警仪校准用两组份动态配气系统的工作原理及标准气体稀释误差计算方法,并对稀释误差进一步推导得到稀释误差简化计算公式。根据简化计算公式,稀释误差与稀释比例、质量流量控制器示值相对误差有关,并给出了在允许...
关键词：配气系统 稀释误差 质量流量控制器 简化计算 
基于流量校准的吸附测量方法及误差分析被引量：1
《化工学报》2022年第4期1597-1605,共9页刘碧强 曹海山 
国家自然科学基金项目(U21A20494,52076115);北京市自然科学基金项目(3212019)。
多孔吸附材料广泛应用于分离提纯、气体储存和工业催化等领域,吸附等温线的测定对研究吸附性质具有重要意义。针对传统容积法易受管路温度均匀性影响的问题,介绍了一种基于流量校准的吸附测量方法。分析了两种方法的误差传递,并对比了...
关键词：吸附 测量 状态方程 误差分析 流量控制器 不确定度 
流量控制器在SAGD技术中的应用现状及思考被引量：2
《石油学报》2021年第10期1395-1404,共10页张胜飞 孙新革 苟燕 张忠义 王红庄 周晓义 解阳波 吕柏林 
国家科技重大专项“薄层超稠油有效开发技术研究与试验”(2016ZX05012)资助。
受储层非均质性、钻井轨迹、启动方式、操作策略等因素影响,近1/3双水平井蒸汽辅助重力泄油技术(SAGD)开发效果不理想,表现为井下温度不均、局部汽窜、泄油速度慢、油汽比低。此外,大量强非均质稠油油藏面临水平井经济开发的难题。布署...
关键词：流量控制器 流入控制装置 流出控制装置 蒸汽辅助重力泄油 稠油 水平井 注蒸汽 地质与工程一体化 
液体静压导轨技术分析被引量：2
《机电信息》2021年第20期51-52,共2页肖道林 张超 房博文 薛松海 刘文志 
液体静压导轨技术主要用于精密与超精密机床,现介绍静压导轨滑块的工作原理,并分别从油膜厚度、流量控制器、热变形这三个影响因素出发,对液体静压导轨的性能进行阐述,总结众多学者对这三方面影响因素的研究成果。
关键词：液体静压导轨 油膜厚度 流量控制器 热变形 
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