RESURF结构

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电气和电子工程用材料科学
《中国无线电电子学文摘》2000年第2期3-6,共4页
关键词：类金刚石薄膜 电子工程 电阻率 半导体薄膜 中国科学院 Ni薄膜 RESURF结构 介电性能 多层膜 材料科学 
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