SICN

作品数：43被引量：62H指数：4
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真空气氛下非晶硅碳氮(SiCN)陶瓷的高温晶化行为被引量：3
《无机材料学报》2009年第4期827-830,共4页夏熠 乔生儒 王强强 张程煜 韩栋 李玫 
国家自然科学基金(50772089);高等学校学科创新引智计划(B08040)
以六甲基二硅氮烷为单一前驱体,采用电热裂解化学气相沉积技术制备了SiCN陶瓷.借助X射线衍射仪、透射电子显微镜研究了真空环境中非晶SiCN陶瓷在1300～1900℃范围内的晶化行为,并根据研究结果,运用分解-结晶机理解释了其晶化过程.非晶S...
关键词：非晶SiCN陶瓷 晶化行为 相变 显微结构 
溅射工艺对SiCN薄膜沉积及光性能的影响被引量：3
《无机材料学报》2000年第4期717-721,共5页肖兴成 宋力昕 江伟辉 彭晓峰 胡行方 
本文利用射频磁控溅射工艺制备了ＳｉＣＮ薄膜，研究了基本工艺参数如溅射功率、Ｎ分压对薄膜沉积和光学性能的影响．研究结果表明：溅射制备的薄膜中形成了复杂的网络结构，膜中三元素Ｓｉ、Ｃ和Ｎ两两之间形成了共价键．Ｎ分压的提高...
关键词：SiCN薄膜 磁控溅射 FTIR 光学带隙 半导体 
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