SOIMOS器件

作品数：6被引量：4H指数：1
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基于Silvaco Atlas的SOI器件性能仿真研究
《电子制作》2017年第12期26-27,共2页黄玮 杨月霞 林慧敏 
江苏高校品牌专业建设工程资助项目;项目编号ppzy B190
本文主要针对SOI器件结构展开研究,对于SOIMOS器件的结果和特性进行分析,讨论,并利用SILVACO TCAD软件来对SOI的器件结构与性能进行仿真,与研究分析结果进行比对,可以看出SOI器件能够有效改善MOS器件的阈值和亚阈值特性。
关键词：Silvaco ATLAS SOI结构 SOIMOS器件 
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