SOIMOS器件

作品数:6被引量:4H指数:1
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深亚微米PD和FD SOIMOS器件热载流子损伤的研究
《微电子学》2003年第5期377-379,共3页颜志英 
浙江省教育厅科研计划项目
 研究了深亚微米PD和FDSOIMOS器件遭受热载流子效应(HCE)后引起的器件参数退化的主要差异及其特点,提出了相应的物理机制,以解释这种特性。测量了在不同应力条件下最大线性区跨导退化和阈值电压漂移,研究了应力Vg对HCE退化的影响,并分...
关键词:深亚微米器件 SOI MOSFET 热截流予效应 器件退化 热截流子效应 
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