SOI结构

作品数：47被引量：52H指数：4
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一种新型SOI结构——SiGe-OI材料研究进展
《物理》2002年第4期219-223,共5页安正华 张苗 门传玲 谢欣云 沈勤我 林成鲁 
国家重点基础研究专项经费 (批准号 :G2 0 0 0 0 36 5 ) ;国家自然科学基金 (批准号 :No 6 990 6 0 0 5 );上海市青年科技启明星计划(批准号 :No 0 1QMH14 0 3)资助项目
SOI(silicononinsulator ,绝缘层上的硅 )技术和SiGe(silicongermanium ,锗硅 )技术都是微电子领域的前沿技术 .SiGe-OI(SiGe -on -insulator ,绝缘层上的锗硅 )新型材料是最近几年来才出现的一种新型SOI材料 ,它同时具备了SOI技术和SiG...
关键词：绝缘层 硅 锗硅 集成电路 SIGE SI SOI结构 iGe-OI材料 
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