SU-8

作品数：107被引量：206H指数：7
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相关机构：上海交通大学中国科学院大连理工大学吉林大学更多>>
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A Review on Surface Stress-Based Miniaturized Piezoresistive SU-8 Polymeric Cantilever Sensors
《Nano-Micro Letters》2018年第2期198-238,共41页Ribu Mathew A.Ravi Sankar 
In the last decade, microelectromechanical systems(MEMS) SU-8 polymeric cantilevers with piezoresistive readout combined with the advances in molecular recognition techniques have found versatile applications,especial...
关键词：SU-8 polymer Surface stress Biological sensor CANTILEVER Chemical sensor PIEZORESISTOR IMMOBILIZATION 
Reducing SU-8 hygroscopic swelling by ultrasonic treatment被引量：2
《Nano-Micro Letters》2010年第3期197-203,共7页Du Liqun Zhang Benzhuang Liu Yaping 
supported by the National Natural Science Foundation of China (No:50675025 and 51075057)
The volume expansion of SU-8 resist brings serious dimensional errors to electroformed structures.Two approaches have been proposed to reduce resist distortions during electroforming:electroforming at room temperature...
关键词：SU-8 Hygroscopic swelling Electroform ULTRASONIC HYDROPHILICITY 
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