TA2O5

作品数：135被引量：377H指数：10
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Li_2O·Al_2O_3·4SiO_2-Ta_2O_5系微晶玻璃分相与析晶机理研究被引量：4
《无机材料学报》2011年第12期1319-1326,共8页李要辉 梁开明 成惠峰 吴云龙 
采用Ta2O5为晶核剂制备Li2O.Al2O3.4SiO2-Ta2O5微晶玻璃,并研究其分相、析晶机理,构建晶化模型.结果表明Ta2O5能有效促进玻璃的体积析晶,获得了晶粒尺寸为50nm的精细组织.非等温动力学计算显示随Ta2O5含量增加,析晶活化能降低,析晶指数...
关键词：锂铝硅微晶玻璃 TA2O5 分相 析晶机制 
衬底负偏压对溅射Ta_2O_5薄膜晶化温度及介电性能的影响
《无机材料学报》2004年第3期701-704,共4页许仕龙 朱满康 黄安平 王波 严辉 
北京市自然科学基金(2021003)
采用磁控溅射法,在衬底温度为620℃时,通过引入合适的衬底负偏压(100～200V),获得了结晶良好的Ta_2O_5薄膜,衬底负偏压增强了正离子对衬底表面的轰击作用,加速了其在衬底表面的松弛扩散效应,从而降低了Ta_2O_5薄膜的晶化温度,改善了其...
关键词：TA2O5 介电薄膜 晶化温度 衬底负偏压 
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