TI/AL/NI/AU

作品数：14被引量：12H指数：2
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n-GaN/Ti/Al/Ni/Au欧姆接触温度特性及微结构研究
《微纳电子技术》2007年第7期72-75,共4页张跃宗 冯士维 张弓长 王承栋 
国家863项目(2006AA03A112)
主要对n-GaN/Ti/Al/Ni/Au欧姆接触在高温下(500℃)的特性进行了研究,发现在所测温度范围内,接触电阻率随测量温度的升高呈现出增加的趋势,接触开始退化。同时分析研究了在不同高温、不同时间范围内(24h)欧姆接触高温存储前后的变化,分...
关键词：欧姆接触 接触电阻率 X射线衍射能谱 
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