TI/AL/NI/AU

作品数：14被引量：12H指数：2
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Ti／Al／Ni／Au与n型GaN的欧姆接触研究被引量：5
《高技术通讯》2004年第2期36-39,共4页陈志忠 秦志新 胡晓东 于彤军 童玉珍 丁晓民 杨志坚 张国义 
通过电流-电压(I—V)特性和传输线方法(TLM)测量研究在n型CaN上淀积Ti／Al／Ni／Au电极形成欧姆接触的机制。Ni／Au作为Ti／Al的覆盖层起了阻止Ti，Al，Au的互扩散及抗接触层氧化的作用。在400℃到900℃范围内，Ti／Al／Ni／Au与n型GaN...
关键词：n型氮化镓 欧姆接触 电流-电压特性 传输线法 两步合金法 
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