TMAH

作品数：58被引量：116H指数：6
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In situ nanoscale refinement by highly controllable etching of the(111) silicon crystal plane and its influence on the enhanced electrical property of a silicon nanowire被引量：1
《Journal of Semiconductors》2011年第12期53-57,共5页龚宜彬 戴鹏飞 高安然 李铁 周萍 王跃林 
Project supported by the State Key Development Program for Basic Research of China(No.2006CB300403);the National Hi-Tech Research and Development Program of China(No.2007AA03Z308);the Fund for Creative Research of the National Natural Science Foundation of China(No.60721004)
Nanoscale refinement on a （100） oriented silicon-on-insulator （SOI） wafer was introduced by using tetra-methyl-ammonium hydroxide （TMAH, 25 wt%） anisotropic silicon etchant, with temperature kept at 50 ℃ to ach...
关键词：TMAH etching nanofabrication silicon nanowire field effect transistor 
Texturization of mono-crystalline silicon solar cells in TMAH without the addition of surfactant被引量：1
《Journal of Semiconductors》2010年第10期130-134,共5页欧伟英 张瑶 李海玲 赵雷 周春兰 刁宏伟 刘敏 鲁伟明 张俊 王文静 
Project supported by the National High Technology Research and Development Program of China(No.2007AA05Z437)
Etching was performed on （100） silicon wafers using silicon-dissolved tetramethylammonium hydroxide （TMAH） solutions without the addition of surfactant. Experiments were carried out in different TMAH concentration...
关键词：silicon solar cell TEXTURIZATION TMAH 
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