ULTRAVIOLET

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次世代微影术及其非破坏式光学量测系统之研究
《金属加工（冷加工）》2015年第10期81-81,共1页李彦旻 李佳翰 
本论文包含三项研究：一、极紫外光（extreme ultraviolet）微影系统：1.设计以40层钼/硅为基材之光子晶体（photoniccrystal）反射面镜,从数值计算得知,此面镜大幅提升对极紫外光之反射率,并能承受更高之照射温度与能量。2.改善传输线...
关键词：量测系统 rigorous ULTRAVIOLET 光子晶体 次世代 extreme 传输线理论 ZERNIKE 数值计算 数值孔径 
次世代微影术及其非破坏式光学量测系统之研究
《机械工程学报》2015年第6期26-26,共1页李彦旻 李佳翰 
本论文可概分为三部分：1改善用于极紫外光（Extreme ultraviolet,EUV）微影系统之多层膜反射镜之反射率以及其等效计算方法;2开发用于多尺度（multi-scale）电子束直写（Electron-beam directwrite,EBDW）微影系统之数值计算方法;3开...
关键词：量测系统 滤光片 几何外形 PHOTONIC ULTRAVIOLET 光学检测 光子晶体 次世代 RESIST 光学性质 
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