V2O5薄膜

作品数:33被引量:76H指数:5
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相关机构:南京航空航天大学兰州大学吉林大学襄樊学院更多>>
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磁控溅射法制备五氧化二钒薄膜的表面粗糙度研究被引量:2
《航空兵器》2017年第2期60-64,共5页张吴晖 卢文壮 杨斌 杨凯 杨旭 
航空科学基金项目(20140152001);南京航空航天大学研究生创新基地(实验室)开放基金(kfjj20150507)
V_2O_5是一种具有热致相变特性的新型非线性光学材料,被广泛应用于激光致盲防护领域。V_2O_5薄膜的表面粗糙度是影响其性能的重要因素。本文采用磁控溅射镀膜的方法在蓝宝石表面制备V_2O_5薄膜,通过控制氧氩比以及衬底温度,探究V_2O_5...
关键词:磁控溅射 氧氩比 衬底温度 V2O5薄膜 表面粗糙度 激光防护技术 
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