XY工作台

作品数：19被引量：45H指数：4
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晶圆工作台运动精度数据采集及处理
《机电工程技术》2008年第3期20-21,29,共3页刘建奇 李克天 刘吉安 黄向修 翁纪钊 
国家自然科学基金(编号:50475044);广东省自然科学基金(编号:04300155);广州市科技项目(编号:2004Z3-D9021)
本文采用光栅尺、数据采集卡以及开发的测量软件建立了一个粘片机晶圆传送精度检测系统。该系统通过在运行过程中适当设置采样频率和剔除冗余数据以获得有用的数据,并经过数据处理完成工作台的送片精度测量。
关键词：XY工作台 光栅尺 数据采集卡 数据处理 送片精度 
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