ZNMGO薄膜

作品数:11被引量:15H指数:2
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相关机构:浙江大学中国科学院长春光学精密机械与物理研究所北京交通大学南开大学更多>>
相关期刊:《光谱学与光谱分析》《发光学报》《物理学报》《材料科学与工程学报》更多>>
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衬底类型对于Ga-N共掺杂ZnMgO薄膜性能的影响
《发光学报》2008年第3期499-502,共4页叶康 叶志镇 胡少华 赵炳辉 何海平 朱丽萍 
国家"973"计划(2006CB604906);国家自然科学基金(50532060;90601003)资助项目
利用直流反应磁控溅射技术分别在玻璃、n-〈111〉Si、氧化硅(SiO2/Si)、石英衬底上制得Ga-N共掺杂ZnMgO薄膜。利用X射线衍射(XRD)、Hall实验、场发射扫描电镜(FE-SEM)和X射线光电子能谱(XPS)对不同衬底上生长的ZnMgO薄膜的性能进行表征...
关键词:ZNMGO薄膜 Ga-N共掺杂 磁控溅射 衬底 
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