研磨盘

作品数：62被引量：96H指数：7
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相关作者：文东辉袁巨龙吕冰海任成祖张利更多>>
相关机构：浙江工业大学天津大学安徽格楠机械有限公司中芯国际集成电路制造(上海)有限公司更多>>
相关期刊：《金刚石与磨料磨具工程》《航空制造技术》《轴承技术》《机械工程学报》更多>>
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轴承球变曲率研磨盘沟槽结构参数数值优化研究被引量：2
《机电工程》2021年第2期222-227,共6页李晓琪 柯明峰 祝佳俊 周芬芬 吕冰海 
国家重点研发计划资助项目(2018YFB2000502);国家自然科学基金资助项目(U1809221)。
针对轴承球变曲率沟槽加工方法中沟槽结构参数优化问题,采用了数值仿真分析法,研究了研磨盘沟槽偏心距、沟槽半角、滚道极径及沟槽间距4个主要沟槽几何参数,对球面加工轨迹点分布均匀性的影响规律。设计了正交仿真试验,分析了沟槽几何...
关键词：轴承球 研磨 变曲率沟槽 结构参数优化 
双面抛光机上研磨盘振动抑制的半主动控制方法
《机电工程》2012年第11期1255-1258,共4页徐慧鑫 赵文宏 陈晨 周芬芬 程城远 
振动是影响超精密加工质量的关键因素之一,弹簧加压式双面抛光机在抛光过程中的上研磨盘振动现象严重制约了产品的加工精度。为解决这一问题,提出了在弹簧加压装置中加入磁流变阻尼器的方法,通过控制磁流变阻尼器阻尼系数来实现对双面...
关键词：双面抛光机 上研磨盘 振动抑制 磁流变阻尼器 半主动控制 
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