AFM阳极氧化

作品数：9被引量：3H指数：1
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外加电压对AFM阳极氧化加工的作用机理
《仪表技术与传感器》2007年第3期13-15,共3页蒋洪奎 胡礼广 朱春耕 沈亚强 
浙江省教育厅项目(20060470)资助
利用原子力显微镜AFM进行阳极氧化纳米刻蚀加工的实质是电场作用下发生的电化学反应,外加电压是影响氧化加工的最重要的因素。在氧化加工过程中,外加电压存在着阈值。分析了电压的大小、类型对氧化物的结构和生长速率产生的具体影响,偏...
关键词：原子力显微镜 阳极氧化 纳米刻蚀 电压 
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