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用光刻工艺制作高密度基因芯片的研究
《哈尔滨理工大学学报》2003年第4期113-115,共3页贺训军 王春生 阎玉清 殷景华 高昆 星星 
哈尔滨市科技攻关计划项目(2001AA3CS072)
利用集成电路中的光刻工艺,以玻璃为衬底,制作了高密度基因芯片,它能将数以万计 的寡核苷酸固定于固相支持物,且具有高通量、并行性、微型化及自动化等特点.
关键词：光刻工艺 密度 基因芯片 寡核苷酸 亚磷酰胺核苷 DNA微阵列 LINKER 版图设计 掩膜版 
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