掩膜版

作品数：65被引量：28H指数：3
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光掩膜版用低羟基高纯石英玻璃的研究被引量：3
《玻璃》2021年第3期6-10,共5页陈娅丽 吴椿烽 钱宜刚 汤明明 陈京京 顾铃铃 缪丽华 
介绍了采用不同原材料由一步法工艺所制备的石英玻璃的方法及其光学性能与杂质含量,基于羟基含量高、尺寸小等缺点,通过优化工艺,以两步法(沉积、脱羟烧结)制备的石英玻璃更具有优良的性能。检测结果表明,两步法气相沉积工艺制备的石英...
关键词：气相沉积工艺 CVD法 等离子沉积工艺 羟基 石英玻璃 
中国首条G11代掩膜版生产线产品下线
《玻璃》2019年第2期56-57,共2页
2019年1月23日,位于成都市高新西区的成都路维光电有限公司(简称“成都路维”)迎来了自开工建设以来的重要时刻:国内首条第11代高世代掩膜版项目的首张掩膜版产品成功下线。由此,我国首条自主研发生产的高精度第11代掩膜版正式诞生!标...
关键词：掩膜版 生产线 产品 下线 中国 成都市 技术负责人 自主研发 
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