氧化铝纳米线

作品数：10被引量：32H指数：3
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相关作者：杨洁颖张恩爽张昊张凡李文静更多>>
相关机构：天津大学航天特种材料及工艺技术研究所中国石油化工股份有限公司北京航空航天大学更多>>
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AAO模板的湿法刻蚀研究被引量：1
《半导体技术》2010年第6期531-533,576,共4页胡国锋 张海明 邸文文 李育洁 高波 朱彦君 
天津市自然科学基金资助项目(09JCYBJC04400)
利用二次阳极氧化法制备多孔氧化铝(AAO)模板,然后用NaOH、磷铬酸和不同质量分数的H3PO4等溶液,对AAO模板进行湿法刻蚀。研究了刻蚀时间与AAO模板质量减少之间的变化关系。结果表明,质量分数为3%的H3PO4溶液是最为温和的刻蚀剂,它在刻...
关键词：多孔氧化铝 湿法刻蚀 磷酸 氧化铝纳米线 
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