邸文文

作品数：1被引量：1H指数：1
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供职机构：天津工业大学理学院更多>>
发文主题：氧化铝纳米线AAO模板多孔氧化铝磷酸湿法刻蚀更多>>
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AAO模板的湿法刻蚀研究被引量：1
《半导体技术》2010年第6期531-533,576,共4页胡国锋 张海明 邸文文 李育洁 高波 朱彦君 
天津市自然科学基金资助项目(09JCYBJC04400)
利用二次阳极氧化法制备多孔氧化铝(AAO)模板,然后用NaOH、磷铬酸和不同质量分数的H3PO4等溶液,对AAO模板进行湿法刻蚀。研究了刻蚀时间与AAO模板质量减少之间的变化关系。结果表明,质量分数为3%的H3PO4溶液是最为温和的刻蚀剂,它在刻...
关键词：多孔氧化铝 湿法刻蚀 磷酸 氧化铝纳米线 
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