GAN外延层

作品数：27被引量：34H指数：3
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GaN外延结构中微区应变场的测量和评价
《电子学报》2008年第11期2139-2143,共5页王俊忠 吉元 田彦宝 牛南辉 徐晨 韩军 郭霞 沈光地 
国家自然科学基金(No.69936020)
采用电子背散射衍射(EBSD)技术,测量GaN/蓝宝石结构中的弹性应变场.将EBSD菊池衍射花样的图像质量IQ值及小角度错配作为应力敏感参数,表征GaN-Buffer层-蓝宝石结构中的晶格畸变和转动,显示微区弹性应变场.在GaN/蓝宝石系统中,弹性应变...
关键词：电子背散射衍射(EBSD) 微区应力 GAN外延层 
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