HFO2薄膜

作品数：65被引量：149H指数：6
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相关作者：刘正堂邵淑英范正修刘文婷沈军更多>>
相关机构：北京科技大学中国科学院上海光学精密机械研究所中国科学院西北工业大学更多>>
相关期刊：《武汉理工大学学报》《材料热处理学报》《光学精密工程》《光学学报》更多>>
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基片温度对磁控溅射HfO_2薄膜结构和性能影响分析被引量：3
《应用光学》2016年第6期872-879,共8页惠迎雪 刘政 王钊 刘卫国 徐均琪 
国家自然科学基金项目(61378050);陕西省科技厅重点实验室项目(2013SZS14-Z02);陕西省教育厅重点实验室科研计划(15JS032)
在纯氧条件下,采用直流磁控溅射技术在单晶硅基片上沉积氧化铪(HfO_2)薄膜,并研究了沉积过程中基片温度对薄膜结构和性能的影响规律。利用X射线衍射仪(XRD)和X射线能谱(XPS)表征了薄膜的晶体结构和组分,利用原子力显微镜(AFM)观察薄膜...
关键词：HFO2薄膜 磁控溅射 晶体结构 组分 纳米力学性能 
缺陷对HfO_2薄膜的激光弱吸收与损伤阈值的影响被引量：2
《应用光学》2015年第2期314-320,共7页刘浩 潘峰 卫耀伟 马平 张哲 张清华 吴倩 
中国工程物理研究院设备能力提升课题(2014B0409)
激光弱吸收是导致光学薄膜损伤的重要原因。在(5~43)mPa的氧分压下制备并测试了一组HfO2薄膜。实验发现,当氧分压小于20mPa时,薄膜弱吸收越大,损伤阈值越低;当氧分压大于20mPa时,薄膜的损伤阈值与弱吸收并不一一对应,具有较高弱吸收的...
关键词：激光弱吸收 激光损伤阈值 缺陷 HFO2薄膜 
长脉冲激光辐照下单层HfO_2薄膜的温度场分析被引量：6
《应用光学》2014年第5期912-916,共5页李洪敬 
国家自然科学基金(11204139);南京晓庄学院青年基金(2011NXY71)
激光系统中的光学薄膜极易受到高能激光的辐照而产生热损伤,因此研究长脉冲激光作用下光学薄膜的温度场非常重要。建立了二维轴对称杂质模型,使用有限元方法计算了单层HfO2薄膜材料的瞬态温度分布,进一步分析了铂金杂质粒子的吸收系数...
关键词：长脉冲激光 HFO2薄膜 温度场 铂金粒子 
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