IC工艺

作品数：58被引量：65H指数：5
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相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>
相关作者：刘博王立鼎梁静秋刘泽文方梦媛更多>>
相关机构：大连理工大学电子科技大学复旦大学东南大学更多>>
相关期刊：《传感技术学报》《微电子技术》《光学精密工程》《微电子学》更多>>
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KrF准分子激光直接消融深层光刻紫外光刻胶实验研究被引量：1
《功能材料与器件学报》1998年第2期126-130,共5页沈蓓军 王润文 路敦武 王立鼎 梁静秋 姚劲松 
国家攀登计划B的资助
介绍了利用激光ＬＩＧＡ工艺中的激光深层光刻技术对紫外光刻胶进行深层光刻的实验研究成果，对远紫外激光与光刻胶相互作用的机理进行了讨论，给出了ＫｒＦ准分子激光刻蚀紫外光刻胶的能量阈值以及激光能量密度与刻蚀深度的关系曲线，...
关键词：激光 光刻 微细加工 LIGA工艺 IC工艺 
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