路敦武

作品数：22被引量：102H指数：5
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供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
发文主题：光刻光学敏感区散射光信噪比更多>>
发文领域：电子电信机械工程核科学技术自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《光学精密工程》《光学学报》《微细加工技术》《中国激光》更多>>
所获基金：国家高技术研究发展计划国家攀登计划国家自然科学基金更多>>
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多探头光纤倏逝波生物传感器及其性能研究被引量：18
《中国激光》2004年第6期718-722,共5页黄惠杰 翟俊辉 赵永凯 杨瑞馥 任冰强 程兆谷 杜龙龙 路敦武 
利用光纤倏逝波原理 ,以输出波长为 6 35nm的半导体激光器为光源 ,研制成功一台具有 5个探头的光纤生物传感器。该传感器 5个光纤探头对纯净Cy5荧光染料溶液的检测灵敏度均达 0 0 1nmol/L ,在同一浓度下信噪比的相对标准偏差小于 10 %...
关键词：传感器技术 光学计量 生物传感器 倏逝波 蛋白质 实时荧光检测 
光学元件损伤在线检测装置及实验研究被引量：20
《强激光与粒子束》2004年第4期465-468,共4页任冰强 黄惠杰 张维新 赵永凯 韩广礼 杜龙龙 王树森 路敦武 
国家863计划项目资助课题
　利用暗场成像原理,研制成功一套应用于大型激光装置的光学元件损伤在线检测装置,并在多程放大系统上进行了实验研究。与传统的检测手段相比,该检测装置可以实现对光学系统的在线检测,并可对损伤点的图像进行分析处理,最后提出通过减...
关键词：光学元件 光学损伤检测 暗场成像技术 
光纤倏逝波生物传感器及其应用被引量：17
《光学学报》2003年第4期451-454,共4页黄惠杰 翟俊辉 任冰强 杨瑞馥 赵永凯 程兆谷 杜龙龙 路敦武 
以光纤倏逝波原理 ,研制成功一台光纤倏逝波生物传感器。该传感器对纯净的Cy5荧光染料溶液的检测灵敏度达 0 .0 1μmol/l;对浓度为 0 .0 1μmol/l的嗜肺军团菌核酸样品的测量信噪比为 4.6 1。所有检测结果与商品化生物芯片扫描仪同时检...
关键词：光纤倏逝波生物传感器 性能检测 荧光染料溶液 嗜肺军团菌核酸 信噪比 
尘埃粒子的半导体激光散射测量被引量：26
《中国激光》2002年第12期1117-1121,共5页黄惠杰 赵永凯 任冰强 程兆谷 杜龙龙 路敦武 
以半导体激光为光源 ,建立了一个可以实时测量空气中尘埃粒子的尺寸与颗粒数浓度的光学系统。根据Mie散射理论 ,计算了该光学系统的光散射响应特性。实验结果表明 ,该系统具有高的计数准确度、计数效率和计数重复性 ,适用于洁净度检测...
关键词：尘埃粒子 半导体激光 散射测量 光散射 
接近式光刻中斜照明改善分辨率的模拟与分析被引量：4
《微细加工技术》2001年第2期9-13,60,共6页赵永凯 黄惠杰 路敦武 杜龙龙 杨良民 袁才来 蒋宝财 王润文 
国家自然科学基金资助项目! (6 98780 2 9)
根据菲涅尔 基尔霍夫衍射公式 ,推导出斜照明接近式光刻系统中硅片表面的光强分布 ,并在几种条件下进行了模拟数值计算 ,分析了斜照技术的实用条件及改善光刻分辨率的效果和应用前景。
关键词：接近式光刻 准分子激光光刻 分辨率 斜照明 
1.06μm波段大口径无规位相板制作与性能测试
《强激光与粒子束》2000年第1期55-57,共3页黄惠杰 路敦武 王润文 赵永凯 刘增水 
国家 8 63惯性约束聚变领域资助课题
利用大面积光刻和腐蚀等工艺 ,研制成功了一块用于激光直接驱动约束聚变装置的 1 .0 6μm波段、口径为 2 50 mm的无规位相板。台阶几何深度实测值与理论值的相对偏差为 1 .2 4 % ,该位相板可获得边缘陡直、近似平顶的焦斑光强分布。
关键词：无规位相板 靶面均匀辐照 焦斑光强分布 ICF 
光学粉尘浓度测量仪响应特性曲线的计算与分析被引量：3
《光学仪器》1999年第6期31-35,共5页黄惠杰 路敦武 赵永凯 杜龙龙 
中国科学院上海分院择优经费项目
根据 Mie散射理论计算了 5种光学粉尘浓度测量仪的光散射响应特性曲线 ,对照呼吸性粉尘在人体呼吸道中的沉降效率曲线 ,对这些光学粉尘浓度测量仪的响应特性进行了分析。得出的结论是 :采用近前向型光散射结构、多波长照明光源和大孔径...
关键词：粉尘 光散射 粉尘浓度测量仪 响应特性曲线 
激光全息用于微电子领域发展潜力的简析被引量：2
《激光与光电子学进展》1999年第S1期145-148,共4页路敦武 黄惠杰 
激光技术已广泛应用于微电子领域大规模集成电路生产的各个环节。本文以激光全息光刻、激光全息掩模和激光干涉成像光刻为切入点，对激光全息用于微电子领域的潜力作一分析。
关键词：激光全息 光刻 掩模 微电子 
无规位相板在实现靶面均匀辐照方面的性能分析被引量：5
《光学学报》1998年第7期943-949,共7页刘增水 王润文 路敦武 黄惠杰 
国家科委863高科技项目。
数值分析的结果表明：尽管实际辐照靶面的激光光束其振幅和位相是涨落变化的，但是，使用无规位相板同样能改善光束辐照靶面的均匀化程度；无规位相板取不同的无规位相分布对靶面辐照均匀化的影响较小。还讨论了靶面离焦时其光强分布的...
关键词：无规位相板 均匀辐照 光强分布 复杂波面 
KrF准分子激光直接消融深层光刻紫外光刻胶实验研究被引量：1
《功能材料与器件学报》1998年第2期126-130,共5页沈蓓军 王润文 路敦武 王立鼎 梁静秋 姚劲松 
国家攀登计划B的资助
介绍了利用激光ＬＩＧＡ工艺中的激光深层光刻技术对紫外光刻胶进行深层光刻的实验研究成果，对远紫外激光与光刻胶相互作用的机理进行了讨论，给出了ＫｒＦ准分子激光刻蚀紫外光刻胶的能量阈值以及激光能量密度与刻蚀深度的关系曲线，...
关键词：激光 光刻 微细加工 LIGA工艺 IC工艺 
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