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M-20: 作品数：105被引量：62H指数：4; 导出分析报告; 相关领域：电子电信医药卫生更多>>; 相关作者：居春山刘玉张树荣匡开源赵国清更多>>; 相关机构：淮安美妙电子科技有限公司台州诺森家具有限公司四川豪意木制品制造有限公司江苏华富控股集团有限公司更多>>; 相关期刊：更多>>; 相关基金：国家自然科学基金国家新药研究基金国家重点基础研究发展计划国家杰出青年科学基金更多>>

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高磁电阻磁性隧道结的几种微制备方法研究: 《物理学报》2005年第8期3831-3838,共8页李飞飞张谢群杜关祥王天兴曾中明魏红祥韩秀峰; 国家重点基础研究发展规划(批准号:2001CB610601);国家杰出青年科学基金(批准号:50325104);国家自然科学基金(批准号:10274103)资助的课题.~~; 利用金属掩模法优化了制备磁性隧道结的实验和工艺条件,金属掩模的狭缝宽度为100μm.采用4nm厚的Co75Fe25为铁磁电极和1·0或0·8nm厚的铝氧化物为势垒膜,直接制备出了室温隧穿磁电阻(TMR)为30%—48%的磁性隧道结,其结构为Ta(5nm)/Cu(25...; 关键词：磁性隧道结制备方法动态随机存储器隧穿磁电阻离子束刻蚀工艺条件铝氧化物铁磁电极狭缝宽度直接制备化学反应光刻技术 M-20 研究结果工艺方法传感器件 TMR 掩模法室温低电阻小尺寸金属打孔刻槽势垒

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