MCM-D

作品数：13被引量：13H指数：2
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阳极氧化铝薄膜多层布线基板技术被引量：1
《混合微电子技术》1998年第2期18-21,35,共5页王立春 刘彤 
本文介绍了一种制作多层布线基析的新技术－－选择性阳极氧化技术，用这种新技术，把非导体型区域的铝膜转变成隔离导带和通柱的绝缘氧化铝膜。在绝缘基板或者铝基光板上，形成多层布线结构。分析和阐述了这种多层布线基板的平面化结构...
关键词：多层布线 阳极氧化 平面化 热导率 封装 MCM-D 
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