MGB2超导薄膜

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两种二硼化镁超导薄膜布图布线的湿法刻蚀技术(英文)
《材料导报》2012年第18期7-9,共3页周章渝 杨发顺 杨健 王松 邓朝勇 傅兴华 
国家自然科学基金(51002035);贵州省科学技术基金(20092058;20112008);贵州大学自然科学青年科研基金(2009014)
超导薄膜实现布图布线工艺是制备超导电子元件的必要步骤。报道了两种二硼化镁超导薄膜布图布线的湿法刻蚀技术:一种是先利用双氧水(H2O2)刻蚀前驱体硼薄膜,然后将刻蚀的样品放入钽坩埚中在镁蒸气下高温退火,实现了对超导薄膜二硼化镁(M...
关键词：MGB2超导薄膜 布图布线 湿法刻蚀 
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