MOS2薄膜

作品数：28被引量：112H指数：6
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相关领域：一般工业技术机械工程更多>>
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相关机构：中国科学院东南大学河北大学中国科学院大学更多>>
相关期刊：《无机化学学报》《摩擦学学报（中英文）》《表面技术》《发光学报》更多>>
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Si/MoS2及C-Si/MoS2涂层在不同湿度条件下摩擦磨损性能被引量：2
《润滑与密封》2020年第7期111-116,122,共7页谷继品 蔡群 钱建国 陈盛宇 吴洋 蒲吉斌 
为了改善传统MoS2涂层的摩擦学性能,利用中频直流磁控溅射技术在硅片和304不锈钢上沉积Si/MoS2和2种不同碳含量的C-Si/MoS2复合薄膜,利用扫描电镜(SEM)配备的EDS设备对薄膜的成分及厚度进行表征,利用真空摩擦磨损试验机(CSM)测试不同湿...
关键词：Si/MoS2薄膜 C-Si/MoS2薄膜 摩擦磨损 耦合润滑 
射频磁控溅射法制备二硫化钼薄膜被引量：10
《润滑与密封》2007年第12期43-46,共4页邵红红 陈威 
江苏高校省级重点实验室开放课题(kjsmcx06005).
用射频磁控溅射法在GCr15钢表面制得了MoS2薄膜。通过扫描电镜、摩擦磨损以及划痕试验仪研究了工艺参数对薄膜形貌和性能的影响。结果表明:采用射频溅射法,在功率200W、工作气压3Pa、时间2h条件下制备的MoS2薄膜性能最佳;沉积过程中沉...
关键词：MOS2薄膜 磁控溅射 生长模式 摩擦因数 结合力 
溅射沉积MoS_2薄膜中掺杂Ti对其结构与性能的影响研究被引量：9
《润滑与密封》2006年第11期24-27,共4页周晖 温庆平 桑瑞鹏 万志华 刘洪柱 薛德胜 
航天支撑技术项目(417010802)
采用非平衡磁控溅射沉积技术制备纯MoS2和不同Ti掺杂量的MoS2-Ti复合薄膜。用SEM和XRD对薄膜的形貌和结构进行分析,用纳米划痕仪测试薄膜与基底间的附着力,用球-盘摩擦试验机评价薄膜在大气和真空环境中的摩擦学性能。研究结果表明:在...
关键词：非平衡磁控溅射 MOS2薄膜 掺杂Ti 结构和性能 
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