MOS2薄膜

作品数：28被引量：112H指数：6
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相关期刊：《无机化学学报》《摩擦学学报（中英文）》《表面技术》《发光学报》更多>>
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不同衬底上层状MoS2薄膜制备及应用的研究进展被引量：2
《半导体技术》2020年第10期737-747,759,共12页陶化文 黄玲琴 朱靖 
国家自然科学基金资助项目(61604063,11547136);江苏师范大学研究生科研创新计划项目(2020XKT078)。
二维层状MoS2薄膜具有超高的光响应度、高导电特性、良好的光学透明度以及优异的机械性能,是制造多功能和高性能光电探测器、传感器等最理想的半导体材料之一。在不同衬底上制备的MoS2薄膜性质有所差异,其构成的异质结性能也各具特色。...
关键词：二维层状MoS2 GAN 蓝宝石 SiC 化学气相沉积(CVD)法 高温热分解法 异质结 
Si/MoS2及C-Si/MoS2涂层在不同湿度条件下摩擦磨损性能被引量：2
《润滑与密封》2020年第7期111-116,122,共7页谷继品 蔡群 钱建国 陈盛宇 吴洋 蒲吉斌 
为了改善传统MoS2涂层的摩擦学性能,利用中频直流磁控溅射技术在硅片和304不锈钢上沉积Si/MoS2和2种不同碳含量的C-Si/MoS2复合薄膜,利用扫描电镜(SEM)配备的EDS设备对薄膜的成分及厚度进行表征,利用真空摩擦磨损试验机(CSM)测试不同湿...
关键词：Si/MoS2薄膜 C-Si/MoS2薄膜 摩擦磨损 耦合润滑 
利用射频磁控溅射法制备多层MoS2薄膜
《半导体技术》2020年第4期280-286,311,共8页滕世豹 杨瑞霞 兰飞飞 陈春梅 田树盛 孙小婷 刘海萍 
国家自然科学基金资助项目(61774054)。
利用射频磁控溅射法结合退火工艺制备了多层结构的MoS2薄膜。优化溅射功率和工作气压条件,在溅射功率为30 W、工作气压为1.0 Pa条件下制备了致密度良好的MoS2薄膜,X射线衍射测量结果表明这种原生的薄膜是非晶态的。对原生的MoS2薄膜在...
关键词：MoS2 射频磁控溅射 退火温度 多层薄膜 溅射功率 工作气压 
水浴对MoS2薄膜结构及摩擦学性能影响的研究被引量：2
《摩擦学学报》2020年第2期166-174,共9页董春萌 高晓明 余兵 姜栋 胡明 王德生 翁立军 孙嘉奕 
国家自然科学基金项目(51875551)资助.
为考察水介质对二硫化钼(MoS2)薄膜结构和摩擦学性能的影响,采用沸腾蒸馏水对溅射MoS2薄膜进行水浴处理,并对水浴处理前后薄膜的微观结构、摩擦学性能进行了研究.研究发现,薄膜中同时存在晶体结构和非晶结构.随着水浴处理时间的延长,XR...
关键词：溅射MoS2薄膜 水浴 结构 耐磨寿命 
二维MoS2/石墨烯异质结对圆偏振光的光电响应被引量：1
《杭州电子科技大学学报（自然科学版）》2020年第2期74-79,共6页吴小虎 彭英姿 郑奇烨 李源 
国家自然科学基金资助项目(11574067);浙江省自然科学基金资助项目(LY16F040003)。
使用化学气相沉积法在石墨烯/SiO2/Si基底上沉积二维MoS2薄膜制备MoS2/石墨烯异质结,探究该异质结在不同偏振态圆偏振光照射下的光电响应。研究MoS2/石墨烯异质结在不同角度圆偏振光照射下Ⅰ-Ⅴ特性曲线和开路电压的变化规律。结果表明:...
关键词：MoS2/石墨烯异质结 原子层厚度MoS2薄膜 圆偏振光 Ⅰ-Ⅴ特性 
退火温度对MoS2纳米薄膜微特性及光学性能的影响
《信息记录材料》2020年第2期31-33,共3页成桢 
西安市科技计划创新基金项目(类石墨烯层状二硫化钼纳米薄膜的制备及其光电特性,项目编号2017CGWL14);中国科学院瞬态光学与光子技术国家重点实验室开放基金(基金项目编号SKLST201904);西安市科技计划创新基金项目2019KJWL23;陕西省自然科学基础研究计划,项目编号2018JQ5173。
本论文使用射频磁控溅射法在硅衬底上制备不同退火温度下的MoS2薄膜,利用SEM、XRD、光谱仪等手段对薄膜的表面形貌、结构、反射率等进行表征,分析退火温度对MoS2薄膜性能的影响。研究结果表明:退火温度对MoS2薄膜表面形貌影响明显,不同...
关键词：磁控溅射法 MOS2薄膜 表面形貌 光学性能 
95%Ar+5%H2气氛退火对Ag/MoS2和Ag/BN/MoS2薄膜形貌和结构的影响被引量：3
《人工晶体学报》2019年第12期2186-2193,共8页熊芬 姜思宇 吴隽 耿仁杰 郭才胜 祝柏林 姚亚刚 刘静 
中国科学院苏州纳米技术与仿生研究所纳米器件与应用重点实验室项目(15QT02);国家自然科学基金重点项目(51522211)
采用射频(RF)磁控溅射在室温下连续逐层沉积,然后在95%Ar+5%H 2混合气氛中进行500℃低温退火制备了Ag/MoS2和Ag/BN/MoS2纳米薄膜,采用拉曼光谱(Raman)、X射线光电子能谱(XPS)和原子力显微镜(AFM)对其结构、组成和表面形貌进行了研究。...
关键词：Ag/MoS 2 Ag/BN/MoS 2 连续逐层沉积 95%Ar+5%H 2退火 
MoS2薄膜电子性质随层数变化的理论研究
《电子制作》2019年第11期84-85,共2页张恬 岳芳 林燕菁 周倩 史芹凡 魏云 樊代和 刘其军 刘正堂 
2018年四川省大学生创新创业训练计划项目(2018115);中国高教学会理科教育专业委员会高等理科教育研究课题;西南交通大学十七期重点实验室开放项目(GD201817068);西南交通大学2019年度校级本科教育教学研究与改革项目
本文采用基于密度泛函理论的第一性原理方法计算了体相和1-10层3R-MoS2的几何结构和电子结构。计算获得了体相3R-MoS2的几何结构参数,与实验值相一致,表明了计算方法和参数设置的可靠性。随后,分别计算了1-10层3R-MoS2的几何结构和电子...
关键词：MOS2 表面 电子结构 第一性原理 
高温退火对蓝宝石上生长MoS2薄膜的影响研究
《石油石化物资采购》2019年第18期95-96,共2页夏述平 陈婷 熊礼威 崔宇 陶雪华 
国家级大学生创新创业训练计划项目(编号:201810490012)。
以MoO3和S粉为源,采用化学气相沉积法在经过退火处理的蓝宝石基片和洁净的蓝宝石基片上沉积MoS2薄膜。利用光学显微镜、Raman和PL分别对使用不同钼源用量沉积的MoS2薄膜进行了表征。结果表明,高温退火处理会使蓝宝石基片上出现更多的活...
关键词：二硫化钼 薄膜 化学气相沉积 退火处理 
研究型综合实验设计与实践教学模式探究被引量：37
《实验室研究与探索》2019年第2期149-151,171,共4页郝兰众 刘云杰 张亚萍 刘伟华 
国家自然科学基金项目(51502348);山东省研究生创新教育计划项目(SDYC16031);教育部物理实验课程创新环境协同体系建设与实践项目(DWJZW201603hd)
由于涉及的实验环节多样、涵盖的知识面丰富,材料综合实验已成为培养材料类专业学生创新能力与科研探索能力的重要方式。选取国际研究热点材料二硫化钼(MoS_2)作为实验对象,设计了MoS_2薄膜的气体敏感性能综合实验,包括薄膜的制备、微...
关键词：研究型综合实验 MOS2薄膜 实践教学模式 
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