铂铑10-铂热电偶

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相关领域:机械工程一般工业技术更多>>
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微纳陶瓷基铂铑10-铂热电偶技术研究
《传感器与微系统》2024年第4期64-67,共4页张洪泉 邢会明 王辉 单国柱 罗嘉琪 
黑龙江省重点研发计划资助项目(GA21A301);海南省自然科学基金联合资助项目(2021JJLH0019);国家自然科学基金资助项目(62071138);哈尔滨市科技计划自筹经费资助项目(2022ZCZJCG003);黑龙江省重大科技成果转化项目(CG23006)。
针对燃气轮机温度检测高温热电偶存在的热容大、响应时间慢、无法表贴安装等诸多技术问题,利用陶瓷微纳加工技术制造出50μm厚度的柔性芯片基底,经薄膜工艺形成冗余结构的铂铑10-铂热电偶电极,通过“三明治”封装形成全陶瓷密封型热电偶...
关键词:微纳加工 热电偶 快响应 冗余 柔性 
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